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中電45所與Strasbaugh300mm CMP項目正式簽約

作者: 時間:2009-03-19 來源: 收藏

  3月18日SEMICON China 2009展會第二天,中國電子科技集團公司第45研究所與美國公司就300mm CMP項目合作舉辦了隆重的簽字儀式,工業(yè)和信息化部副部長婁勤儉出席了簽約儀式。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/92569.htm

  45所所長郭永興表示:“300mm的化學機械拋光是國家重點扶持的項目,也是當前加工的關(guān)鍵設備之一。雙方在這一技術(shù)領(lǐng)域的互利合作將大大促進我國關(guān)鍵半導體設備的開發(fā)推廣及應用,對CMP設備產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展起到積極的促進作用。”

  公司在平面技術(shù)領(lǐng)域有著60多年的歷史,其半導體材料及IC制造業(yè)的拋光研磨技術(shù)處于世界領(lǐng)先地位。自從去年與45所簽訂代理協(xié)議后,其CMP產(chǎn)品成功地應用在IC制造行業(yè)及大學實驗室研究領(lǐng)域。公司副總裁Michael Kirkpatrick表示,將進一步加強與45所的合作,共同開發(fā)中國市場,為300mm CMP項目的合作做出貢獻。



關(guān)鍵詞: Strasbaugh 晶圓

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