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asml 文章 進(jìn)入asml技術(shù)社區(qū)
EUV需求巨大!ASML最新財(cái)報(bào)顯示今年將出貨30臺(tái)
- 荷蘭當(dāng)?shù)貢r(shí)間1月23日,ASML發(fā)布了去(2018)年第四季度及全年的業(yè)績(jī)報(bào)告?! ?bào)告指出,去年第四季度凈銷售額為31億歐元,凈收入為7.88億歐元,毛利率為44.3%?! 【唧w來看,ASML指出,DUV光刻業(yè)務(wù)中,存儲(chǔ)客戶的需求使得TWINSCAN NXT:2000i保持著持續(xù)增長(zhǎng)。同時(shí)ASML也提高了該產(chǎn)品的可靠性,據(jù)了解,上一代產(chǎn)品需要六個(gè)月才能達(dá)到高可靠性,而該產(chǎn)品僅用了兩個(gè)月。 去年全年,ASML凈銷售額為109億歐元,凈收入為26億歐元。 值得注意的是,ASML已與尼康簽署了諒解
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全面起底ASML的EUV光刻技術(shù)
- 用于高端邏輯半導(dǎo)體量產(chǎn)的EUV(Extreme Ultra-Violet,極紫外線光刻)曝光技術(shù)的未來藍(lán)圖逐漸“步入”我們的視野,從7nm階段的技術(shù)節(jié)點(diǎn)到今年(2019年,也是從今年開始),每2年~3年一個(gè)階段向新的技術(shù)節(jié)點(diǎn)發(fā)展。 高端邏輯半導(dǎo)體的技術(shù)節(jié)點(diǎn)和對(duì)應(yīng)的EUV曝光技術(shù)的藍(lán)圖?! ∫簿褪钦f,在EUV曝光技術(shù)的開發(fā)比較順利的情況下,5nm的量產(chǎn)日程時(shí)間會(huì)大約在2021年,3nm的量產(chǎn)時(shí)間大約在2023年。關(guān)于更先進(jìn)的2nm的技術(shù)節(jié)點(diǎn),還處于模糊階段,據(jù)預(yù)測(cè),其量產(chǎn)時(shí)間最快也是在2026
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中國(guó)首臺(tái)ASML NXT2000i正式入駐SK海力士無錫工廠
- 12月19日晚間,中國(guó)首臺(tái)ASML NXT2000i正式搬入SK海力士位于無錫的工廠?! ?jù)ASML證實(shí),此次入駐SK海力士無錫工廠確為NXT2000i,也即NXT2000。ASML解釋道,i是immersion的意思。NXT2000都是immersion的機(jī)器。所以NXT2000即NXT2000i?! ?jù)了解,無錫是SK海力士在中國(guó)的DRAM內(nèi)存芯片生產(chǎn)基地,目前每月晶圓的產(chǎn)量約為14萬片?! ⊥瑫r(shí),SK海力士還成立了SK Hynix System IC公司,開始進(jìn)軍晶圓代工市場(chǎng),同時(shí)增加100
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半導(dǎo)體設(shè)備廠商競(jìng)爭(zhēng)格局生變?
- 半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商的排名在2016-2017年間沒有發(fā)生太大的變化,但是這種格局正在發(fā)生變化。不僅Lam Research、ASML和東京電子的位次發(fā)生調(diào)轉(zhuǎn),排名第一的應(yīng)用材料公司的寶座位置也岌岌可危?! ∽?990年以來,應(yīng)用材料公司一直是半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者。在此之前的1989年,坐在鐵王座位置上的還是日本的東京電子,該公司2016年排名第四,今年前三季度的新排名則是第二。除了位次的變化,也許更重要的是,領(lǐng)頭羊和第二名的差距正在迅速收窄?! ?016年,應(yīng)用材料公司的市場(chǎng)份額比Lam
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國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)真的這么厲害嗎?這些光刻機(jī)知識(shí)您得知道
- 近日,中科院研制的“超分辨光刻裝備”通過驗(yàn)收。消息傳著傳著,就成了謠言——《國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)偉大突破,國(guó)產(chǎn)芯片白菜化在即》《突破荷蘭技術(shù)封鎖,彎道超車》《厲害了我的國(guó),新式光刻機(jī)將打破“芯片荒”》……筆者幫您們捋一捋! 關(guān)于光刻機(jī),這些知識(shí)您得知道 光刻機(jī)不光是制造芯片用。一張平面(不論硅片還是什么材料)想刻出繁復(fù)的圖案,都可以用光刻——就像照相,圖像投在感光底片上,蝕掉一部分。半個(gè)多世紀(jì)前,美國(guó)人用這個(gè)原理“印刷”電路,從而有了大規(guī)模集成電路——芯片。為了節(jié)能和省硅料,芯片越做越小,逼得光刻機(jī)越做越極
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ASML內(nèi)部“霍亂”,中國(guó)晶圓廠成為“首發(fā)受害者”
- 11月30日晚上,荷蘭費(fèi)爾德霍芬的一個(gè)科技園區(qū)發(fā)生火災(zāi),ASML的一家供應(yīng)商Prodrive遭受了重創(chuàng),部分廠房與倉(cāng)庫(kù)遭受波及。12月3日,ASML發(fā)表聲明稱:“Prodrive供應(yīng)ASML的部分電子元件和模組,ASML初步評(píng)估至2018年底的出貨計(jì)劃不變,但預(yù)期部分2019年初的出貨將受影響?!盇SML還表示需要幾周的時(shí)間詳細(xì)評(píng)估該事件對(duì)公司的影響?! SML目前已開始協(xié)助Prodrive重啟生產(chǎn),同時(shí)ASML也已與其他供應(yīng)商接洽,以確保相關(guān)組件和材料的替代來源供應(yīng)無虞?! ?2月作為2018年最
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Imec與ASML聯(lián)手,EUV成主流技術(shù)工具
- 日前,有消息稱,比利時(shí)研究機(jī)構(gòu)Imec和微影設(shè)備制造商ASML計(jì)劃成立一座聯(lián)合研究實(shí)驗(yàn)室,共同探索在后3nm邏輯節(jié)點(diǎn)的奈米級(jí)元件制造藍(lán)圖。此次雙方這項(xiàng)合作是一項(xiàng)為期五年計(jì)劃的一部份,分為兩個(gè)階段: 首先是開發(fā)并加速極紫外光(EUV)微影技術(shù)導(dǎo)入量產(chǎn),包括最新的EUV設(shè)備準(zhǔn)備就緒?! ∑浯螌⒐餐剿飨乱淮邤?shù)值孔徑(NA)的EUV微影技術(shù)潛力,以便能夠制造出更小型的奈米級(jí)元件,從而推動(dòng)3nm以后的半導(dǎo)體微縮?! O紫外光(EUV)微影技術(shù) EUV光刻也叫極紫外光刻,它以波長(zhǎng)為10-14 nm的極紫外
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ASML看好中國(guó)市場(chǎng) 最先進(jìn)光刻機(jī)將入華
- 中國(guó)集成電路制造年會(huì)近日邀請(qǐng)到了光刻機(jī)霸主ASML(阿斯麥)中國(guó)區(qū)總裁沈波參加,他出面解答了一些媒體關(guān)心的話題?! ”M管UMC(聯(lián)電)和Globalfoundries(格羅方德,格芯)先后宣布放棄7nm制程及更先進(jìn)工藝的研發(fā),但ASML依然對(duì)EUV光刻機(jī)的前景表示樂觀。 此前有消息指出,中芯國(guó)際(SMIC)今年已向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī),預(yù)計(jì)明年交付,用于7nm節(jié)點(diǎn)?! ⊥瑫r(shí),傳統(tǒng)的沉浸式光刻機(jī)方面,沈波稱,今年下半年ASML已開始出貨家族最先進(jìn)的NXT:2000i,很快會(huì)在中國(guó)市場(chǎng)上也見到
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迫于美國(guó)政府壓力,光刻機(jī)巨頭荷蘭ASML被曝不再招收中國(guó)員工 ...
- 在高科技領(lǐng)域,美國(guó)這一年來加強(qiáng)了對(duì)中國(guó)人的防范,不只限于美國(guó)本土,就連歐洲公司也受到了美國(guó)政府的壓力,荷蘭ASML被曝禁止招收中國(guó)籍員工?! ≡诠饪虣C(jī)領(lǐng)域,荷蘭ASML公司幾乎壟斷了全球高端光刻機(jī)市場(chǎng),在EUV光刻機(jī)中更是獨(dú)一份,7nm及以后的工藝都要依賴EUV光刻機(jī)。在高科技領(lǐng)域,美國(guó)這一年來加強(qiáng)了對(duì)中國(guó)人的防范,不只限于美國(guó)本土,就連歐洲公司也受到了美國(guó)政府的壓力,荷蘭ASML被曝禁止招收中國(guó)籍員工。 如果說半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是制造工業(yè)的皇冠,那么光刻機(jī)可以說是皇冠上的明珠,因?yàn)楣饪虣C(jī)是半導(dǎo)體制造中最關(guān)
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Entegris EUV 1010光罩盒展現(xiàn)極低的缺陷率,已獲ASML認(rèn)證
- 業(yè)界領(lǐng)先的特種化學(xué)及先進(jìn)材料解決方案的公司Entegris(納斯達(dá)克:ENTG)日前發(fā)布了下一代EUV 1010光罩盒,用于以極紫外(EUV)光刻技術(shù)進(jìn)行大批量IC制造。Entegris的EUV 1010是與全球最大的芯片制造設(shè)備制造商之一的ASML密切合作而開發(fā)的,已在全球率先獲得ASML的認(rèn)證,用于NXE:3400B等產(chǎn)品?! ‰S著半導(dǎo)體行業(yè)開始更多地使用EUV光刻技術(shù)進(jìn)行先進(jìn)技術(shù)制程的大批量制造(HVM),對(duì)EUV光罩無缺陷的要求比以往任何時(shí)候都要嚴(yán)格。Entegris的EUV 1010光罩盒已
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ASML出貨新光刻機(jī)NXT2000i:用于7nm/5nm DUV工藝
- 據(jù)外媒報(bào)道,光刻機(jī)霸主ASML(阿斯麥)已經(jīng)開始出貨新品Twinscan NXT:2000i DUV(NXT:2000i雙工件臺(tái)深紫外光刻機(jī)),可用于7nm和5nm節(jié)點(diǎn)?! XT:2000i將是NXE:3400B EUV光刻機(jī)的有效補(bǔ)充,畢竟臺(tái)積電/GF的第一代7nm都是基于DUV工藝。 同時(shí),NXT:2000i也成為了ASML旗下套刻精度(overlay)最高的產(chǎn)品,達(dá)到了和3400B一樣的1.9nm(5nm要求至少2.4nm,7nm要求至少3.5nm)?! SML將于本季度末開始量產(chǎn)Twin
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