韓國化工企業(yè)已確立高純度大量生產氟化氫技術

據(jù)悉，韓國產業(yè)通商資源部日前表示，韓國化工企業(yè)已確立能以高純度大量生產氟化氫的制造技術。氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。 

外媒稱，韓國化工企業(yè)“Soul Brain”新設和擴建了制造工廠，可將液體氟化氫的雜質減少至“1萬億分之一”。這一純度可用于要求極高純度的半導體制造。 

韓國經濟媒體認為，生產規(guī)模將能滿足韓國國內70至80％左右的需求。 

去年9月，外媒曾報道，三星電子開始在半導體生產線上試用韓國企業(yè)加工的氟化氫。 

外媒當時表示，在高純度的氟化氫市場，日本廠商大約占據(jù)8至9成份額。三星電子對于是否全面采用日本造以外的氟化氫仍持謹慎態(tài)度。