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半導體走到3nm制程節(jié)點不成問題
- 在剛剛閉幕的2016年ITF(IMEC全球科技論壇)上,世界領(lǐng)先的獨立納米技術(shù)研究機構(gòu)——IMEC的首席執(zhí)行官Luc van den Hove指出,“scaling(尺寸縮小)還會繼續(xù),我不僅相信它將會繼續(xù),而且我認為它不得不繼續(xù)。” 他認為,目前從技術(shù)層面來說,F(xiàn)INFET、Lateral Nanowire(橫向納米線) 和Vertical Nanowire(縱向納米線)已經(jīng)可以幫我們持續(xù)推進到3nm的制程節(jié)點。EUV光刻技術(shù)將是未來的唯一選擇。
- 關(guān)鍵字: 3nm 半導體
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