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華為+中科院攻關(guān)EUV光刻機?ASML華裔工程師:天方夜譚
- 9月16日,中國科學院院長白春禮在國新辦發(fā)布會上介紹稱,“率先行動”計劃第二階段要把美國“卡脖子”的清單變成科研任務清單進行布局,集中全院力量聚焦國家最關(guān)注的重大領(lǐng)域攻關(guān)。白春禮稱,從2021年到2030年未來的十年是“率先行動”計劃第二階段。對此,首先要進行體制機制改革。他稱,目前已經(jīng)設(shè)立了創(chuàng)新研究院、卓越創(chuàng)新中心、大科學中心和特色所四類機構(gòu),目的是根據(jù)科研性質(zhì)不同進行分類定位、分類管理、分類評價、分類資源配置?!斑@個工作還沒有完,只是進行了一部分,所以第二階段我們爭取在2025年要把四類機構(gòu)全部做完,
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Intel/臺積電/ASML齊捧EUV光刻:捍衛(wèi)摩爾定律
- 日前,中國國際半導體技術(shù)大會(CSTIC)在上海開幕,為期19天,本次會議重點是探討先進制造和封裝。其中,光刻機一哥ASML(阿斯麥)的研發(fā)副總裁Anthony Yen表示,EUV光刻工具是目前唯一能夠處理7nm和更先進工藝的設(shè)備,EUV技術(shù)已經(jīng)被廣泛認為是突破摩爾定律瓶頸的關(guān)鍵因素之一。Yen援引統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示,截至2019年第四季度,ASML當年共售出53臺EUV NXE:3400系列EUV光刻機,使用EUV機器制造的芯片產(chǎn)量已經(jīng)達到1000萬片。他說,EUV已經(jīng)成為制造7nm、5nm和3nm邏輯集成電
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5nm工藝起飛 ASML宣布全新半導體技術(shù):產(chǎn)能大漲600%
- 提到荷蘭ASML公司,大家都知道他們是全球唯一的EUV光刻機供應商,7nm及以下的工藝生產(chǎn)都要靠他們的設(shè)備。不過ASML不只是光刻機厲害,今天他們宣布了另外一個新產(chǎn)品——第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000,適用于5nm及更先進工藝,使得產(chǎn)能大漲600%。隨著制程工藝不斷提升,晶圓的制造也越來越復雜,這也會導致晶圓中的錯誤更多,HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技術(shù)的檢測系統(tǒng),內(nèi)部也有復雜的光電子系統(tǒng),能夠產(chǎn)生、控制多個電子束,然后根據(jù)反射回來的電子束成像來分析晶圓質(zhì)量,并有
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光刻機制造商ASML:疫情中公司訂單依然強勁
- 據(jù)外媒報道,由于擔心新型冠狀病毒疫情帶來的不確定性,三星和臺積電的半導體設(shè)備供應商ASML宣布撤回2020年第二季度的業(yè)績預期。不過,這家生產(chǎn)極紫外線(EUV)光刻設(shè)備的荷蘭公司補充說,該公司的設(shè)備訂單依然強勁,需求也沒有變化。ASML首席執(zhí)行官彼得·溫寧克(Peter Wennink)說:“需求前景沒有變化,今年我們沒有遇到任何推遲或取消交易的情況。盡管當前形勢充滿挑戰(zhàn),但到目前為止,我們能夠繼續(xù)保持正常業(yè)務。”但溫寧克補充說:“目前新型冠狀病毒疫情將如何影響全球GDP發(fā)展、終端市場、我們的制造能力以及
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2021年ASML將推下一代EUV光刻機 面向2nm、1nm工藝
- 作為全球唯一能生產(chǎn)EUV光刻機的公司,荷蘭ASML公司去年出售了26臺EUV光刻機,主要用于臺積電、三星的7nm及今年開始量產(chǎn)的5nm工藝,預計今年出貨35臺EUV光刻機。目前ASML出貨的光刻機主要是NXE:3400B及改進型的NXE:3400C,兩者基本結(jié)構(gòu)相同,但NXE:3400C采用模塊化設(shè)計,維護更加便捷,平均維修時間將從48小時縮短到8-10小時,支持7nm、5nm。此外,NXE:3400C的產(chǎn)能也從之前的125WPH(每小時處理晶圓數(shù))提升到了175WPH。不論NXE:3400B還是NXE:
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EUV市場供不應求,ASML或取代應材登全球半導體設(shè)備龍頭
- 根據(jù)外媒報導,已經(jīng)多年蟬聯(lián)全球半導體設(shè)備龍頭的美商應材公司(Applied Materials),2019年可能將其龍頭寶座,讓給以生產(chǎn)半導體制造過程中不可或缺曝光機的荷蘭ASML,原因是受惠即紫外光刻設(shè)備(EUV)的市場需求大增,進一步拉抬了ASML的市占率表現(xiàn)。
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ASML除了光刻機還有什么秘密武器
- ASML( Advanced Semiconductor Material Lithography)是半導體光刻系統(tǒng)的主要供應商,也是EUV系統(tǒng)的唯一供應商。根據(jù)Network題為“Sub 100nm光刻:市場分析與戰(zhàn)略問題”的報道,ASML當前取得的成績可以匯總為以下幾點: 1)ASML占據(jù)EUV光刻市場100%的份額; 2)ASML占據(jù)浸沒式193nm DUV光刻市場93%的份額; 3)ASML占據(jù)248nm DUV光刻行業(yè)73%的份額。 2016年,ASML以31億美元收購了He
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